1. Частота та амплітуда вібрації: чим вища частота вібрації та більша амплітуда, тим вища швидкість та інтенсивність руху середовища та деталі. Більш високі частоти та амплітуди вібрації підсилюють зіткнення та шліфувальні дії між середовищем і деталлю, тим самим прискорюючи швидкість обробки поверхні; однак вони також можуть призвести до збільшення пошкодження поверхні заготовки. Наприклад, під час обробки точних електронних компонентів необхідно належним чином зменшити частоту й амплітуду вібрації, щоб запобігти надмірній-обробці.
2. Тип, розмір і об’єм заповнення шліфувальних і полірувальних середовищ: середовища з різних матеріалів і форм по-різному впливають на поверхню заготовки. Твердіші матеріали-такі як абразиви з карбіду кремнію-придатні для видалення міцних задирок і окалини, тоді як м’які матеріали-такі як пластикові абразиви-використовуються для тонкого полірування, де потрібна висока якість поверхні. Розмір носія впливає на площу контакту та силу, що діє на заготовку; навпаки, надмірний або недостатній об’єм заповнення погіршить ефективність і якість обробки. Відповідний об’єм наповнення гарантує вільний потік середовища в резервуарі для обробки та підтримку рівномірного контакту з деталлю.
3. Час обробки: час обробки є критичним параметром, що впливає на кінцеву якість поверхні заготовки. На початкових стадіях якість поверхні швидко покращується зі збільшенням часу обробки; однак після досягнення певної тривалості швидкість покращення якості поверхні починає вирівнюватися. Подальше продовження часу обробки може призвести до «над-полірування» поверхні заготовки-, що проявляється у вигляді зниження блиску поверхні, появи мікроскопічних подряпин або подібних дефектів.
